成立于2012年，前身为清华大学IC装备研究室，承担国家科技重大专项纳米精度运动及测控系统样机研发项目。为北京清华工业开发研究院与IC装备 研究室核心团队共同协商设立。2020年申报科创板，2021年过会，2024年撤材料，计划2025年6-9月重新申报科创板。国内唯一掌握光刻机双工件台技 术，激光退火设备（市占率>90%）和精密运动系统（高端市场占比90%）双龙头。已成功实现精密运动系统、激光退火、晶圆键合和静电卡盘等晶圆制 造工艺中关键设备和零部件的量产。客户包括中芯国际、长鑫存储、中科飞测、北方华创等头部半导体晶圆厂和设备厂商。产品技术指标已赶超国外头 部企业，打破国外厂商长期垄断的格局。预计2024年营收将达到约7.3亿元，净利润约为1.5亿元。收入年均增长率超过30%，创始人是半导体设备行业的领军人物，具备深厚的专业背景和学术地位，担任02专项总体专家组技术副 总师及装备组和光刻机组组长。（估值：55亿，2025年6-9月申报科创板）投资金额：8000万，2025年6-9月申报科创板，北京市绿色通道企业）